Oglekļa tetrafluorīds CF4 ir fluora un brīvā radikāļa oglekļa fluorīda avots, ko izmanto dažādos vafeļu kodināšanas procesos {. Oglekļa tetrafluorīda CF4 tiek kombinēts ar skābekli, lai kodinātu polisiliconu, silikona dioksīds un silīcija nitrīds .} Tetrafluorīds ir salīdzinoši pamatots. NENENTILĒTI ZIŅI . Radio frekvences plazmas vidē fluora brīvie radikāļi parādās tipiska oglekļa trifluorīda vai oglekļa difluorīda .} augstas tīrības oglekļa tetrafluorīda formā, lai labi kontrolētu procesu, lai tas būtu atšķirīgs no citām. Īpašas vadības ierīces (piemēram, pusvadītāju anizotropijas kontrole), kad tās sastopas ar gaisu vai skābekli . tās augstas tīrības gāzes un augstas tīrības oglekļa tetrafluorīda gāzes un augstas tīrības katjonu sajaukumu var plaši izmantot silikona stikla silikona stikla un tiluma silikona dioksīda, silikona, silikona, silikona, silikona, silikona tplata, silikona dioksīda, silikona dioksīda, silikona dioksīda maisījums. Materiāli .
Oglekļa tetrafluorīdam CF4 ir anestēzijas efekts ar lielām koncentrācijām {. tā augstas tīrības gāze un maisījums ar augstas izturības skābekli ir visplašāk izmantotās plazmas kodināšanas gāzes mikroelektronikas nozarē {{4}. thermal stability, is inert to many reagents, and does not hydrolyze at 1000℃. It does not react with copper, nickel, and tungsten at room temperature. Due to the extremely strong chemical stability of the CF bond, perfluorocarbons represented by CF4 can be considered to be basically non-toxic.
Tetrafluoromethane (CF4) has high stability and is a completely non-flammable gas. It does not react with acids, alkalis, and oxidants at room temperature, does not react with transition metals such as Cu, Ni, W, and Mo below 900℃, and does not react with carbon, hydrogen, and CH4 below 1000℃. It can react with liquid ammonia-sodium metal reagents at room temperature, and CF4 can react with alkali metals, alkaline earth metals, and SiO2 at high temperatures to generate corresponding fluorides. CF4 begins to decompose at 800℃and can react with CO and CO2 to form COF2 under the action of an electric arc. Some people have also tried to polymerize CF4 pie oglekļa loka temperatūrām, lai sintezētu citus fluorogļūdeņražus .
Populāri tagi: CF4, Ķīna CF4 ražotāji, piegādātāji, rūpnīca
